专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种光刻胶组合物专利类型：发明专利发明人：王莺妹,何人宝申请号：CN201410855600.6申请日：20141231公开号：CN104536265A公开日：20150422
摘要：本发明涉及一种用于制造电脑芯片和集成电路的光刻胶组合物，其适合使用ArF、KrF等的受激准分子激光平版印刷、EUV光刻和EB光刻等，并且其表现出优秀的各种光刻胶能力例如敏感度、清晰度等，并且得到特别改进的线边缘粗糙度和图案轮廓。
申请人：浙江永太科技股份有限公司
地址：317016 浙江省台州市临海市杜桥镇东海第五大道1号
国籍：CN
代理机构：北京汇思诚业知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看