专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：Reference signal generating configuration
for an interferometric miniature gratingencoder readhead using fiber optic receiverchannels
发明人：Zwilling, Avron,Tobiason, Joseph D.,Harsila,
Scott,Masreliez, Karl Gustav
申请号：EP08012826.7申请日：20080716公开号：EP2023094B1公开日：20150107
摘要：Array
申请人：MITUTOYO CORP
地址：JP
国籍：JP
代理机构：Lang, Johannes
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