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专利名称：一种石英坩埚半导体零件的清洗装置专利类型：发明专利发明人：何桥
申请号：CN202011122867.6申请日：20201020公开号：CN112317375A公开日：20210205
摘要：本发明公开了一种石英坩埚半导体零件的清洗装置，包括清洗组件，清洗组件包括连接杆、支撑杆、放置槽、进气口、调节钉、软毛刷、斜出气口和竖出气口，连接杆右端面上下两固接两个平行的支撑杆，连接杆内壁中空贯穿放置槽，放置槽内壁右侧贯穿有若干个斜出气口，放置槽内壁上下两端沿轴心对称贯穿圆孔，圆孔内壁且靠近软毛刷端面竖直贯穿若干个竖出气口，竖出气口和斜出气口均贯穿支撑杆的侧壁，支撑杆右侧上下两端均采用螺纹连接竖直的调节钉，连接杆左侧采用销钉转动连接驱动组件，通过旋转调节钉，使调节钉在螺纹连接时，底端橡胶圆球的靠近和远离半导体面来确认调解可刷洗的半岛体片厚度。
申请人：安徽应友光电科技有限公司
地址：239500 安徽省滁州市全椒县十谭现代产业园
国籍：CN
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