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专利名称：一种坩埚自动清洗设备专利类型：发明专利
发明人：孟宁宁,李愫,李胤冉,唐俊生申请号：CN202011330030.0申请日：20201124公开号：CN112452986A公开日：20210309
摘要：本发明涉及一种坩埚自动清洗设备，包括机架、安装板、放置件、真空干燥件、酸洗槽、冷水槽以及喷淋组件；所述机架上设置有底板和上板，所述安装板通过模组与上板活动连接，所述放置件通过上气缸的活塞杆与安装板活动连接，所述放置件位于底板的上方，所述酸洗槽位于预洗槽和冷水槽之间，所述底板上设置有超声槽和热水槽，所述超声槽位于冷水槽和喷淋槽之间，所述热水槽位于喷淋组件和真空干燥件之间。本发明提供一种坩埚自动清洗设备，降低了清洁的时间，提高了工作效率，提高了清洁的效果，节约了生产成本。
申请人：昆山硅瑞自动化设备有限公司
地址：215334 江苏省苏州市昆山开发区蓬朗镇八字庙路88号
国籍：CN
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