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一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装

置及应用

专利类型:发明专利发明人:江怀东,雷健,张建华申请号:CN202010154429.1申请日:20200307公开号:CN111290108A公开日:20200616

摘要:本发明涉及一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用,属于显微成像技术领域;成像装置包括沿光束传播方向依次排列设有的宽波长展宽光源、探针光斑产生组件、反射样品台组件、中心挡板装置和信号收集与图像重建系统;本发明装置基于非相干的宽带光源的条件下,以反射与扫描相干衍射相结合的形式,可以实现对样品在入射光源所包含的不同波长模式下的表面结构模值信息、相位信息和光斑信息的重构,并能由此判断出样品对不同波长光的吸收情况;具有利用非相干光源应用于表面结构成像以及表面元素分析的广阔前景。

申请人:上海科技大学

地址:201210 上海市浦东新区华夏中路393号

国籍:CN

代理机构:上海申汇专利代理有限公司

代理人:徐俊

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