专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种自由曲面光学元件的面形检测装置和检测方法专利类型：发明专利
发明人：李世杰,刘卫国,郭忠达,李宏,阳志强申请号：CN201710324992.7申请日：20170510公开号：CN107063161A公开日：20170818
摘要：本发明提供一种自由曲面光学元件的面形检测装置和检测方法，该装置包括两个高精度直线运动轴、一个高精度旋转轴、真空吸盘和精密探针。该方法是将被测自由曲面的面型方程输入至计算机中，得到其极坐标表示方式；检测时，利用直线运动轴控制径向方向的半径与矢高，利用旋转轴控制角度方向的位置，三轴协同运动，使精密探针沿着待测自由曲面表面作螺旋线运动；同时，利用精密探针测量各个位置的实际矢高值，其与该位置理论矢高值的偏差便为该位置的面形误差，测得多个极坐标位置点的面形误差，再利用Zernike多项式拟合，便可得到整个面的面形误差分布。这为自由曲面光学元件的面形测量提供了一种有效的方法，在光学元件制造领域有着较大的工程应用价值。
申请人：西安工业大学
地址：710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
国籍：CN
代理机构：西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人：黄秦芳
更多信息请下载全文后查看