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专利名称：一种测量自由曲面面型的装置和方法专利类型：发明专利发明人：刘俭,谭久彬,王红婷申请号：CN201410616939.0申请日：20141105公开号：CN104296683A公开日：20150121
摘要：一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、镀在样品表面的电致发光薄膜、正负微电极、物镜、滤光片、管镜、CCD、电致发光膜照明部分、光学成像测量部分，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光分别点亮样品表面的奇偶条纹来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，可以测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
申请人：哈尔滨工业大学
地址：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
国籍：CN
代理机构：哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)
代理人：张伟
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