专利名称：MACRO-INSPECTION METHOD发明人：SHIGEYAMA YOSHITAKE,重山 吉偉申请号：JP特願平10-143607申请日：19980526
公开号：JP特開平11-339040A公开日：19991210
专利附图：
摘要：Array
申请人：SHARP CORP,シャープ株式会社
地址：大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号
国籍：JP
代理人：小池 隆彌
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