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芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法专利类型:发明专利发明人:王锐,娄建和,吴彩平申请号:CN202011515315.1申请日:20201218公开号:CN11268A公开日:20210416

摘要:本发明公开一种芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法,包括归类针卡分布图,为每一类分布图配置对应的驱动程序;根据归类情形制作包含所有驱动程序的列表和批处理文件;执行批处理文件,选择驱动程序编号,批处理程序则自动向测试机主机操作系统注册所用的探针台驱动;空跑CP测试,得到探针台晶芯坐标和测试机晶芯坐标,进行坐标比对,确认无误后,进行晶圆CP量产测试。采用本发明的驱动配置方法,可保证CP测试坐标完全匹配、测试机台从探针台可获取正确的晶圆位置坐标,进而可以正常进行芯片晶圆的CP测试;采用一个批处理即可处理9类驱动注册的方式,简化了操作人员的操作,且节省测试成本。

申请人:江苏艾科半导体有限公司

地址:212000 江苏省镇江市潘宗路166号

国籍:CN

代理机构:南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)

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