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专利名称：一种靶材定位装置及三坐标定位设备专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,王学泽,占卫君申请号：CN201810746530.9申请日：20180709公开号：CN1085963A公开日：20181127
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种靶材定位装置及三坐标定位设备。一种靶材定位装置包括底座、第一定位组和激光器。底座被配置为固定在工作台上；第一定位组均设置在底座远离工作台的一侧；第一定位组包括两个第一立柱，两个第一立柱具备第一预设距离，两个第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；靶材的侧面上设置有一个定位槽；激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，第一平面与工作台平行且穿过定位槽。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：崔振
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