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专利名称：接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装专利类型：实用新型专利发明人：林晶玉,林东光申请号：CN2019214609.9申请日：20190904公开号：CN211199383U公开日：20200807
摘要：本实用新型公开了一种接合灌装布置膜及具有其的靶材粘合工装，接合灌装布置膜包括用于埋在靶材粘合材料内的布置膜基材，所述布置膜基材上具有能够供液态的所述靶材粘合材料通过的通孔。本实用新型提供的接合灌装布置膜，能够方便地去除氧化膜，而且不会出现溅射靶材及基材的靶材粘合材料被剥离的情况，有效提高了靶材与基材的接合效率，也提高了靶材与基材在接合操作中的生产效率。
申请人：林晶玉
地址：116000 辽宁省大连市金州区金湾山城小区205号楼
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：李赫
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