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专利名称：一种基板承载台专利类型：实用新型专利发明人：周广东
申请号：CN201621315012.4申请日：20161202公开号：CN206516622U公开日：20170922
摘要：本实用新型实施例公开了一种基板承载台，包括载盘、多个顶针以及升降机构，所述载盘设有多个穿孔，所述载盘用于水平承载基板；所述顶针可相对所述载盘上升或者下降，所述顶针包括顶端、底端以及弹性件，所述顶端和所述底端设置于所述顶针的两个末端，所述顶端通过所述穿孔以顶升承载于所述载盘中的基板，当所述顶针上升使得顶端施加一顶升力于所述基板以顶升所述基板时，所述弹性件发生形变而产生一缓冲力，减缓所述顶针对所述基板的作用力。本实用新型实施例技术效果在于，所述弹性件产生的一缓冲力可减缓所述顶针对所述基板的作用力，避免该基板内部受损或在其表面产生凹点，提高产品生产良率。
申请人：惠科股份有限公司,重庆惠科金渝光电科技有限公司
地址：518108 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房6、7楼
国籍：CN
代理机构：深圳市精英专利事务所
代理人：罗明玉
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