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专利名称：一种基板承载台专利类型：实用新型专利发明人：陈富军,戴巧云申请号：CN201920231441.0申请日：20190225公开号：CN209433150U公开日：20190924
摘要：本实用新型提供的一种基板承载台，包括基底及设置于基底上的绝缘层，绝缘层远离基底的一侧为承载面，该绝缘层内部还设置有中空的电极部承载穴，该基板承载台还包括设置于电极部承载穴内部的电极层，该电极层能够在控制装置的控制下在所述电极部承载穴中沿远离或靠近承载面的方向上移动，在玻璃基板制程结束后需要对玻璃进行剥离时，可以使电极部沿靠近承载面的方向上移动，进而缩短电极层与玻璃基板之间的距离增加充放电的速度，从而快速导出残留在基板上的静电，解决瞬时ESD问题。
申请人：昆山龙腾光电有限公司
地址：215301 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号
国籍：CN
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