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专利名称：一种提高波导与光纤耦合效率的方法专利类型：发明专利
发明人：耿敏明,张磊,贾连希,杨林,刘育梁申请号：CN200810112203.4申请日：20080521公开号：CN101587207A公开日：20091125
摘要：本发明是一种提高波导与光纤耦合效率的方法。该方法包括，在制作好的波导表面淀积二氧化硅，将波导完全包裹住，然后刻蚀二氧化硅至衬底硅，形成二氧化硅波导包裹硅波导的耦合端结构，然后将衬底硅向内刻蚀10微米至50微米，形成10微米至50微米的二氧化硅波导包裹硅波导的悬空耦合端结构。本发明有效地提高了耦合结构对光场的能力，降低了倒锥形耦合结构端头的弥散损耗，消除了光场扩散后向衬底的泄漏损耗，提高与光纤的耦合效率。
申请人：中国科学院半导体研究所
地址：100083 北京市海淀区清华东路甲35号
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：周国城
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