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专利名称：扫描电子显微镜专利类型：发明专利
发明人：陈仲伟,郭小立,任岩,何福民,曹峰,郭瑜,卢志刚申请号：CN200810085128.7申请日：20080321公开号：CN101388317A公开日：20090318
摘要：一种扫描电子显微镜，具有电子源，其阴极和阳极保持恒定的高抽取电压，可以得到高亮度、低能散的一次电子束；一个高压管系统，包含上高压管和下高压管，二者供电，使一次电子在其内部具有高能量，减小电子间相互作用；一个物镜聚焦系统和减速装置，将一次电子束以特定着陆能量聚焦于样品上；偏转系统含有一个环形多极的静电偏转器，其静电偏转器位于聚焦磁场内，形成聚焦偏转复合场，具有更小的偏转像差，可以对样品进行快速高分辨大视场成像。
申请人：北京威孚物理科技有限公司
地址：100095 北京市海淀区温泉镇东埠头王庄4号院
国籍：CN
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