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专利名称：扫描型电子显微镜专利类型：发明专利发明人：林雅宏
申请号：CN201610041136.6申请日：20160121公开号：CN105826152A公开日：20160803
摘要：本实施方式涉及可以进行高吞吐量下的试样的表面分析的SEM。该SEM具备电子、照射部和检测器。作为检测器的第一结构，包括MCP、阳极和倍增极。倍增极设定为比MCP输出面高的电位，阳极设定为比倍增极高的电位。阳极配置在比MCP输出面和倍增极的中间位置更靠近倍增极侧的位置。另外，阳极具有使来自MCP输出面的电子向倍增极通过的开口。
申请人：浜松光子学株式会社
地址：日本静冈县
国籍：JP
代理机构：北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：杨琦
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