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专利名称：砷化镓多晶合成装置专利类型：发明专利发明人：刘留,罗小龙
申请号：CN201711088557.5申请日：20171108公开号：CN107881558A公开日：20180406
摘要：本发明提出一种砷化镓多晶合成装置，包括一石英管，所述冷却装置还包括内置于石英管内的一石英帽、一进气管，进气管的一端伸入石英管内且与石英帽的半球形封闭面相对设置。本合成装置通过增加进气管由现有技术的自然降温变为局部冷却，降温更有针对性，使得砷蒸汽就会凝华为砷颗粒沉积在石英帽内而非石英管上，可以有效保护石英管、PBN桥和PBN，对石英管的二次利用造成的影响小。
申请人：广东先导先进材料股份有限公司
地址：511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9B
国籍：CN
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