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专利名称：用于封装的MEMS器件的系统和方法专利类型：发明专利发明人：A·弗勒梅尔
申请号：CN2016102375.6申请日：20160415公开号：CN106044698A公开日：20161026
摘要：本公开的各种实施例提供了一种用于封装的MEMS器件的系统和方法。根据实施例，器件包括衬底，布置在衬底之上的换能器裸片；布置在换能器裸片之上的盖体；以及将盖体连接到衬底的支撑结构。支撑结构包括被配置为允许在周围环境和换能器裸片之间传递流体信号的端口。
申请人：英飞凌科技股份有限公司
地址：德国诺伊比贝尔格
国籍：DE
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：郑立柱
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